4月30日，瀋陽經濟技術開發區（中德裝備製造產業園）內，總投資5億元的中科芯微半導體機械人研發生產基地項目正式啟動。該項目將聚焦半導體製造核心裝備的國產替代研發，建成後年產1000台套高精度半導體潔機械人，預計新增產值10億元，稅收5000萬元，新增就業500餘人。標誌着瀋陽在破解「卡脖子」技術、打造東北半導體產業新高地進程中邁出關鍵一步。

    「智」造突圍：填補國內空白  攻克納米級精度技術壁壘

    中科芯微智能裝備（瀋陽）有限公司作為項目實施主體，其母公司素珀電子科技（上海）有限公司，自2020年「落子」鐵西以來，五年間年均推出5-10項創新產品，成功研發20餘種半導體潔淨機械人，突破精密傳動系統、真空環境兼容性、納米級定位精度等核心領域技術瓶頸。

    據了解，12英寸晶圓傳輸機械人，定位精度達±0.01毫米，相當於在頭髮絲直徑1/5的尺度上實現精準操作。該項目規劃建設的數碼化智能製造廠房、半導體核心設備實驗室及研發綜合樓，將構建從設計仿真到量產測試的全鏈條研發體系，重點攻關晶圓檢測、光刻機配套等高端裝備的國產化替代。

    「鏈」式賦能：從「單點突破」到「集群崛起」

    「瀋陽的產業鏈協同效率超出預期。」素珀電子董事長朱玉東在致辭中透露，項目啟動前，中德園已協助企業對接瀋陽工業大學、瀋陽化工大學等高校，建立「訂單式」人才培養機制，並推動區域內某軍工企業與中科芯微共建潔淨環境實驗室。

    據鐵瀋陽市西區工信局披露，該項目將吸引10餘家上下游企業入駐，形成「材料-設備-應用」閉環生態。目前，中德園已集聚漢京半導體、賀利氏信越石英等37家新材料企業，一季度產值同比增長9.7%，佔全市新材料產業比重近半。

    「營」商破局：從「店小二」到「快遞員」的服務革命

    「項目土地摘牌後，審批手續僅用7個工作日完成，較常規流程提速60%。」中德園項目服務中心主任王大力展示了一份「服務進度表」：從環評預審到施工許可證辦理，12個部門組建「虛擬專班」，通過「並聯審批+容缺受理」機制，將企業辦事成本壓縮30%。

    鐵西區今年推出「快遞員式」服務2.0版，為重點項目配備「1名項目管家+N個部門專員」，提供「7×24小時」政策諮詢、要素保障等全周期服務。目前，該區已建立包含200家企業的「瞪羚-獨角獸」梯度培育庫，中科芯微有望在三年內衝刺獨角獸榜單。

    「新」質引擎：千億級產業集群蓄勢待發

    「項目投產後，將帶動瀋陽半導體裝備產業規模突破50億元，推動鐵西區新材料產業集群向千億級邁進。」鐵西區常務副區長在啟動儀式上表示，該區將依託寶馬新能源汽車、沈鼓集團等龍頭企業，構建「半導體+汽車電子」「半導體+高端裝備」的跨界融合生態。

    據《瀋陽市集成電路產業發展規劃（2024-2026）》，鐵西區被定位為「東北半導體裝備創新策源地」，未來三年將投入30億元建設公共技術服務平台，重點支持超高純石英材料、第三代半導體功率器件等領域技術攻關。

    記者看到，在瀋陽中德園的施工圍擋上，「國產替代，時不我待」的標語與塔吊林立的景象交相輝映。從老工業基地的「鋼鐵脊樑」到新質生產力的「智慧引擎」，這場由一台台半導體機械人書寫的產業變革，正為東北全面振興注入澎湃動能。（記者 王藝橋）