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中外聯合團隊在新型半導體材料領域取得重要進展

中外聯合團隊在新型半導體材料領域取得重要進展

責任編輯:程向明 2026-01-15 11:06:37 來源:新華社

 新華社合肥1月15日電(記者戴威)記者從中國科學技術大學獲悉,中科大張樹辰特任教授團隊聯合美國普渡大學、上海科技大學的研究人員,在新型半導體材料領域取得重要進展——研究團隊首次在二維離子型軟晶格材料中,實現了面內可編程、原子級平整的「馬賽克」式異質結的可控構築,為未來高性能發光和集成器件的研發開闢了全新路徑。相關成果於1月15日在線發表於國際權威學術期刊《自然》。

 在半導體領域,能夠在材料平面內橫向精準構建異質結構,是探索新奇物性、研發新型器件及推動器件微型化的關鍵。然而,以二維鹵化物鈣鈦礦為代表的離子型軟晶格半導體,其晶體結構柔軟且不穩定,傳統光刻加工等技術往往因反應過於劇烈而破壞材料結構,難以實現高質量的橫向異質集成。如何在此類材料中實現高質量、可控外延的橫向異質結的精密加工,是此領域面臨的重要科學難題。

 面對這一挑戰,研究團隊獨闢蹊徑,創新性地提出並發展了一種引導晶體內應力「自刻蝕」的新方法。研究人員發現,二維鈣鈦礦單晶在生長過程中會自然累積內部應力,團隊巧妙設計了一種溫和的配體-溶劑微環境,能夠選擇性地激活並利用這些內應力,引導單晶在特定位置發生可控的「自刻蝕」,從而形成規則的方形孔洞結構。隨後,通過快速外延生長技術,將不同種類的半導體材料精準回填,最終在單一芯片內部構築出晶格連續、界面原子級平整的高質量「馬賽克」異質結。

 「這種全新的加工方法,不是通過『拼接』不同材料,而是在同一塊完整晶體中,引導它自身進行精密的『自我組裝』。」張樹辰解釋道,「這意味着,未來我們有可能在一塊極薄的材料上,直接『生長』出密集排列的、能發出不同顏色光的微小像素點,為未來的高性能發光與顯示器件的發展,提供一種全新的備選材料體系和設計思路。」

 研究人員表示,此項研究首次在二維離子型材料體系中,實現了對橫向異質結結構的高質量、可設計性構築,突破了傳統工藝的局限,其展現的駕馭晶體內應力與動力學新範式,實現了單晶內部功能結構的可編程演化,為研究理想化界面物理提供了全新平台,也為低維材料的集成化與器件化開闢了新的路徑。

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